应用介绍

【行业】SEMI

【设备】清洗机/CDS/SDS

【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等

应用场景

对储液罐（tank）的液位进行检查。

解决课题

部分有机溶液（氢氟酸）具有腐蚀性，无法使用透明玻璃管显示液位。

价值提案

核心产品：光纤传感器E32-D82F1（接液型）、光纤放大器E3NX-FA

■接液型光纤传感器可部署于储液罐（tank）内直接接触液体测量

■200℃的耐热性并有氟树脂涂层，耐化学性强，满足清洗槽温度和腐蚀要求，实现对有机溶液的液位检测

相关产品

光纤传感器E32

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

光纤放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

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